Research on Particle Impact Noise Detection Test Method and Measurement Management Optimization
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摘要: 振动频率是粒子碰撞噪声检测(PIND)试验的重要参数,基于MATLAB拟合工具和对数变换对“封装高度-振动频率”关系图进行解析,构建可量化的数学函数模型,提高振动频率设置准确性。针对PIND试验标准不一致问题,通过综合比对法,明确标准采纳优先级,优化冲击脉冲持续时间参数的使用方式。基于平均值-极差控制图法对PIND试验设备进行期间核查,确保PIND试验设备关键参数校准状态的有效性和可靠性。Abstract: Vibration frequency is an important parameter in the particle impact noise detection (PIND) test. Based on the MATLAB fitting tool and logarithmic transformation, the “package height vibration frequency” relationship graph is analyzed, and a quantifiable mathematical function model is developed to improve the accuracy of the vibration frequency setting. Aiming at the inconsistency of PIND test standards, the standard adoption priority is clarified through the comprehensive comparison method, and the use of impact pulse duration parameters is optimized. Intermediate check of the PIND test equipment based on the mean and range control chart method was carried out to ensure the validity and reliability of the calibration state of the key parameters of the PIND test equipment.
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Keywords:
- PIND /
- fitting /
- measurement management /
- intermediate checks /
- function model
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0. 引言
晶体管广泛应用在运载火箭、导弹、卫星的电路中,起放大和开关作用。在晶体管的生产过程中会带入焊锡渣、金丝、金属屑、灰尘等多种颗粒,最终封闭在产品内形成多余物[1-2]。运载火箭、导弹、卫星在工作过程中会经受较大振动冲击,在剧烈振动或高速变相运动的环境下,残留在晶体管中的多余物可能会与腔壁及腔体内部的其它器件发生碰撞,引起密封器件短路失效或其它方面的失效[3],严重影响可靠性。因此,对于高可靠应用领域,密封器件的筛选和验收过程中,粒子碰撞噪声检测(PIND)试验为必选项[4]。PIND试验可有效剔除腔体内部含有可动粒子的器件,从而被纳入多项标准中作为一项无损筛选试验得到广泛的应用[5],但与之配套的多个试验方法条件不一致,且没有科学的指导性意见[6],给产品的检测、试验带来困扰,随着选用的晶体管尺寸越来越小,对其进行相关的检测与研究也就愈发困难[7]。本文基于MATLAB拟合工具和对数变换,对“封装高度-振动频率”图进行解析,构建可量化数学函数模型,使振动频率设置更精准合理。通过综合比对法明确标准采纳优先级,优化冲击脉冲持续时间参数的使用方式。采用平均值-极差控制图法,对PIND试验设备进行考核,确保设备使用期间的稳定性和可靠性。
1. “封装高度-振动频率”曲线拟合优化
1.1 振动频率选取现状
GJB 128A-97《半导体分立器件试验方法》中,方法2052以图表的形式给出了封装高度与振动频率的关系[8],如图1所示。
在选取振动频率时,目前大部分情况依据产品封装高度数据,利用图1粗略估计对应振动频率,或根据图中7个已知横坐标的封装高度(0.25 mm、0.5 mm、1.0 mm、1.5 mm、2.5 mm、5 mm、10 mm),以及对应的纵坐标的7个振动频率(如表1所示),进行线性回归得出线性函数,利用该函数计算不同封装高度下的振动频率。
表 1 不同封装高度对应的振动频率Table 1. Vibration frequency values corresponding to different package heights序号 1 2 3 4 5 6 7 封装高度(mm) 0.25 0.5 1 1.5 2.5 5 10 振动频率(Hz) 247.5 184 126.56 102 79.3 55.3 39.6 然而,图1的横纵坐标均是不等距的,利用线性函数计算得出的振动频率数据会严重偏离真值,线性拟合结果R2=0.5644,也验证该方式严重偏离“封装高度-振动频率”的真实函数关系。要想精准计算振动频率值,需利用拟合工具,根据现有数据坐标点来初步判断“封装高度-振动频率”符合哪类函数特征,然后根据上述函数特征列出函数一般式,将已知坐标点代入函数一般式,计算出精准的函数关系。
1.2 Excel散点图下的数据比对
利用Excel对表1中7个坐标点进行线性拟合、多项式拟合、幂函数拟合,结果如图2所示。
观察图2的拟合曲线,得知多项式拟合出现过拟合现象,线性拟合偏离数据点较多,封装高度与振动频率关系更接近幂函数拟合,且R2值最接近1,可靠性最高。
1.3 MATLAB拟合工具箱下的数据比对
MATLAB拟合工具箱可以得到关于函数的更多信息,也可以进一步验证上文的结论。在MATLAB命令窗口输入代码如图3所示,A代表封装高度,B代表振动频率。
将A中数据作为自变量(x轴),B中数据作为因变量(y轴),分别进行线性拟合、多项式拟合、幂函数拟合,结果如图4所示。
图4中幂函数拟合出来的图像,和方差(SSE)、确定系数(R-square)、校正后的确定系数(Adjusted R-square)、均方根误差(RMSE)均优于其它两种[9],说明“封装高度-振动频率”函数符合幂函数特征。然而表1中的7个坐标点,仅有3个是可以准确获得其横纵坐标的,其它为粗略观察,因此函数
f(x)=126.2x−0.4948 结构正确,系数不准确。为了更准确计算出函数关系,设幂函数为y=cxa ,等式两边取对数,得式(1)、式(2)。lny=ln(cxa) (1) lny=alnx+lnc (2) 将已知准确的坐标点(1.5,100)、(2.5,80)代入式(2),得出c=119.3427,a=−0.4367。因此,求得“封装高度-振动频率”函数为式(3)。
y=119.3424x−0.4367 (3) 1.4 试验条件与计量器具选取
以UB产品封装高度0.51 mm为例,根据式(3)计算出振动频率为160.14 Hz,根据校准规范,振动频率的最大允差为±8%,即(160.14±12.8)Hz,分别计算最大值和最小值对应的封装高度为0.4270 mm、0.6171 mm,区间半宽度为±0.095 mm,该值可作为高度测量设备选型的重要依据。
2. 冲击脉冲持续时间参数标准采纳优先级
表2是4个标准对冲击脉冲持续时间参数的要求,其中GJB 128A-97《半导体分立器件试验方法》中方法2052、GJB 360B-2009《电子及电气元件实验方法》[10]中方法217、GJB 548B-2005《微电子器件试验方法和程序》[11]中方法2020.1属于PIND试验部分,GJB 128A-97《半导体分立器件试验方法》中方法2016、GJB 360B-2009《电子及电气元件实验方法》中方法213、GJB 548B-2005《微电子器件试验方法和程序》中方法2002.1属于机械冲击试验部分,JJF 1220-2009是PIND试验的计量校准规范[12]。
图5中,D为标称冲击脉冲持续时间;A表示标称冲击脉冲的峰值加速度;T1表示用常规冲击机产生冲击时,对冲击脉冲进行监测的最短时间;T2表示用电动振动台产生冲击时,对冲击脉冲进行监测的最短时间。
表 2 不同标准对冲击脉冲持续时间参数的要求Table 2. Requirements of different standards for impulse duration parameters标准名称 方法 脉冲类型 起始点 范围 允许误差 GJB 128A-97 2052 -- -- ≤100 μs -- 2016 半正弦波 上升时峰值加
速度的10%处无要求 ±0.1 ms与持续时间
的30%中较大值GJB 360B-2009 217 -- -- -- -- 213 半正弦波波、
后峰锯齿波见图5 0.5 ms (1000 g条件) -- GJB 548B-2005 2020.1 -- 幅值(50±5)脉冲点 ≤100 μs -- 2002.1 半正弦波 上升时间峰值加
速度的10%处0.1~1 ms ≤0.1 ms或±30% JJF 1220-2009 -- 50%脉冲点处 ≤100 μs -- 以上4种标准发布时间跨度近12年,对冲击脉冲持续时间参数的要求存在缺项、冲突、不明确的现象,给仪器归口的计量部门带来困扰。因此,计量部门要综合被测对象、脉冲类型、所处行业等多种因素对参数进行选取,选取的一般原则如下:
1)先通过外接测试系统或查阅说明书,根据所测或所查冲击脉冲波形确定冲击脉冲持续时间参数属于PIND试验部分还是机械冲击试验部分;
2)根据被测对象属性(电气元件、微电子器件、半导体分立器件)、行业要求、用户验收要求等,进一步明确选取标准;
3)冲击脉冲持续时间参数包括脉冲类型、起始点、范围、允许误差四要素,当某个标准缺乏要素,可借鉴同脉冲波形所属标准。冲击脉冲持续时间参数跨标准借鉴规则如图6所示。对于军用电子元器件,上述标准采纳优先级为: PIND试验方法>机械冲击试验方法>计量校准规范。例如:GJB 128A-97和GJB 548B-2005都规定了分立器件PIND试验方法,但是GJB 128A-97没有规定脉冲起始点,因此就需要引用GJB 548B-2005方法2020.1中对脉冲起始点的要求。在对PIND检测设备进行溯源时,根据上述流程确定冲击脉冲持续时间参数要素,向上级计量机构说明校准要求,以实现有效溯源,完成溯源后再根据确定要素进行计量确认。
3. PIND试验设备期间核查
期间核查是指为保持设备校准状态的可信度,在两次检定或校准之间进行的核查[13]。虽然期间核查的对象一般指计量基准、计量标准等仪器,但由于晶体管产量大,PIND试验设备经常处在满负荷运行,存在电路器件老化、冲击强度不高、冲击加速度和振动加速度稳定性差、振动时间稳定性差等风险[14]。因此即使PIND试验设备不属于期间核查对象的一般范围,也需对其关键参数进行期间核查,及时发现设备问题,消除隐患。
期间核查不是重新校准或再校准,不需要对设备所有测量参数进行核查。本文选取振动频率、振动加速度幅值、冲击加速度峰值、冲击加速度脉冲持续时间作为期间核查的4个关键参量。以振动频率为例,采用均值-标准偏差控制图对PIND试验设备进行期间核查。
3.1 期间核查标准装置及方法
期间核查标准装置的基本情况如表3所示。
表 3 期间核查标准装置基本情况Table 3. Overview of standard devices for intermediate check设备名称 PIND颗粒碰撞噪声检测仪(4511L) 核查参数 振动频率 核查标准 型号:53230A
350 MHz通用频率计数器:12位/秒
最大显示分辨率:15位核查点 60Hz 振动频率期间核查方法参照JJF 1220-2009校准规范,如图7所示。
3.2 期间核查方案
在设备刚完成校准时进行首次期间核查,以确保设备的校准状态。之后每个月进行2组期间核查,一个校准周期内总核查组数为25。每组取6个测量数据的平均值
¯xk 为本组期间核查值,sk为本组期间核查标准偏差,期间核查数据见表4。校准周期内期间核查值¯¯x 如式(4)所示,标准偏差¯s 如式(5)所示。¯¯x=12525∑k=1¯xk=60.2552Hz (4) ¯s=12525∑k=1sk=0.0298 (5) 3.3 绘制分析用控制图
用采集的25组数据绘制分析用控制图,判断PIND试验设备是否满足要求。
平均值控制图中心线CL 、控制上限 UCL 和控制下限 LCL 计算公式分别为式(6)、(7)、(8)。
CL=¯¯x (6) UCL=¯¯x+A3ˉs (7) LCL=¯¯x−A3ˉs (8) 标准偏差控制图中心线CL 、控制上限 UCL 和控制下限 LCL 计算公式分别为式(9)、(10)、(11)。
CL=ˉs (9) UCL=B4ˉs (10) LCL=B3ˉs (11) 查休哈特控制图控制限系数表[15],当每组取6个核查数据时,A3=1.287、B3=0.030、B4=1.970,代入式(7)、(8)、(10)、(11),平均值控制图控制上限UCL=60.2925,控制下限LCL=60.2168;标准偏差控制图控制上限UCL=0.0587,控制下限 LCL=0.0009。平均值控制图、标准偏差控制图如图8、图9所示。
表 4 期间核查数据Table 4. Intermediate check data组数(k) 测量值(Hz) 每组期间核
查值¯xk(Hz)标准偏
差sk(Hz)1 2 3 4 5 6 1 60.23 60.23 60.27 60.26 60.28 60.26 60.25 0.0189 2 60.21 60.22 60.24 60.23 60.25 60.31 60.24 0.0324 3 60.31 60.33 60.23 60.27 60.26 60.20 60.26 0.0442 4 60.23 60.30 60.30 60.32 60.26 60.26 60.28 0.0307 5 60.27 60.24 60.25 60.29 60.35 60.31 60.28 0.0373 6 60.23 60.24 60.25 60.29 60.21 60.27 60.24 0.0260 7 60.31 60.35 60.30 60.25 60.23 60.33 60.29 0.0423 8 60.26 60.22 60.23 60.24 60.24 60.28 60.24 0.0197 9 60.24 60.23 60.23 60.23 60.27 60.29 60.24 0.0233 10 60.21 60.22 60.22 60.25 60.28 60.28 60.24 0.0286 11 60.22 60.22 60.26 60.24 60.21 60.21 60.22 0.0179 12 60.21 60.29 60.26 60.25 60.25 60.35 60.26 0.0433 13 60.22 60.25 60.26 60.27 60.28 60.30 60.26 0.0249 14 60.20 60.20 60.21 60.22 60.26 60.25 60.22 0.0235 15 60.23 60.23 60.25 60.33 60.33 60.33 60.28 0.0471 16 60.24 60.25 60.26 60.29 60.24 60.23 60.25 0.0195 17 60.33 60.26 60.22 60.25 60.26 60.35 60.27 0.0459 18 60.26 60.28 60.22 60.25 60.23 60.23 60.24 0.0206 19 60.28 60.25 60.26 60.26 60.24 60.25 60.25 0.0124 20 60.22 60.29 60.26 60.35 60.23 60.22 60.26 0.0466 21 60.29 60.28 60.24 60.32 60.24 60.29 60.27 0.0286 22 60.28 60.26 60.21 60.30 60.28 60.28 60.26 0.0285 23 60.26 60.27 60.25 60.23 60.28 60.24 60.25 0.0170 24 60.25 60.25 60.27 60.35 60.28 60.25 60.27 0.0354 25 60.23 60.23 60.28 60.32 60.29 60.26 60.26 0.0323 分析得到的平均值控制图、标准偏差控制图,若平均值控制图出现异常,则表明测量过程受到不受控的系统效应的影响;若标准偏差控制图出现异常,则表明测量过程受到不受控的随机效应的影响。
由于标准偏差控制图的异常状态会影响到平均值控制图,故先对图9标准偏差控制图进行分析,发现标准偏差控制图符合8个判断准则的要求,测量点分布无异常,表明测量过程未受到不受控的随机效应的影响,故无需剔除异常点。分析图8平均值控制图,同样符合以上8个判断准则的要求。以上分析证明PIND试验检测过程处于统计控制状态,故可将控制图由分析用控制图转化为控制用控制图。
3.4 建立控制用控制图
控制用控制图将分析用控制图的控制限延长作为其控制接限,判断实际检测过程是否稳定。根据表5中两组数据,延长图8、图9时间轴,在控制用控制图上标出测量点(图8、图9中实线后面虚线所连接点),当测量点落在控制限以外时,则代表检测过程异常,需要对产生异常的原因进行查找分析。
表 5 控制用控制图数据Table 5. Control chart data for control组数(k) 测量值(Hz) 每组期间核查
值(¯xk)(Hz)标准偏
差(sk)(Hz)1 2 3 4 5 6 26 60.29 60.28 60.3 60.26 60.26 60.27 60.28 0.0149 27 60.28 60.26 60.24 60.29 60.25 60.29 60.27 0.0195 4. 结论
PIND试验是检测晶体管可靠性的重要一环,目前关于振动频率设置大多依赖于经验且步距较粗,无法对振动频率设置进行精准量化,存在一定程度的检测误差。本文利用MATLAB拟合工具和对数变换,实现了振动频率设置的精准量化,提高了PIND试验的可靠性。综合比对GJB 128A-97、GJB 360B-2009、GJB 548B-2005和JJF 1220-2009标准,明确各标准采纳优先级。利用平均值-标准偏差控制图实现对PIND试验设备关键参数的统计控制,为相关行业PIND试验过程和PIND试验设备计量管理提供参考。
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表 1 不同封装高度对应的振动频率
Table 1 Vibration frequency values corresponding to different package heights
序号 1 2 3 4 5 6 7 封装高度(mm) 0.25 0.5 1 1.5 2.5 5 10 振动频率(Hz) 247.5 184 126.56 102 79.3 55.3 39.6 表 2 不同标准对冲击脉冲持续时间参数的要求
Table 2 Requirements of different standards for impulse duration parameters
标准名称 方法 脉冲类型 起始点 范围 允许误差 GJB 128A-97 2052 -- -- ≤100 μs -- 2016 半正弦波 上升时峰值加
速度的10%处无要求 ±0.1 ms与持续时间
的30%中较大值GJB 360B-2009 217 -- -- -- -- 213 半正弦波波、
后峰锯齿波见图5 0.5 ms (1000 g条件) -- GJB 548B-2005 2020.1 -- 幅值(50±5)脉冲点 ≤100 μs -- 2002.1 半正弦波 上升时间峰值加
速度的10%处0.1~1 ms ≤0.1 ms或±30% JJF 1220-2009 -- 50%脉冲点处 ≤100 μs -- 表 3 期间核查标准装置基本情况
Table 3 Overview of standard devices for intermediate check
设备名称 PIND颗粒碰撞噪声检测仪(4511L) 核查参数 振动频率 核查标准 型号:53230A
350 MHz通用频率计数器:12位/秒
最大显示分辨率:15位核查点 60Hz 表 4 期间核查数据
Table 4 Intermediate check data
组数(k) 测量值(Hz) 每组期间核
查值¯xk(Hz)标准偏
差sk(Hz)1 2 3 4 5 6 1 60.23 60.23 60.27 60.26 60.28 60.26 60.25 0.0189 2 60.21 60.22 60.24 60.23 60.25 60.31 60.24 0.0324 3 60.31 60.33 60.23 60.27 60.26 60.20 60.26 0.0442 4 60.23 60.30 60.30 60.32 60.26 60.26 60.28 0.0307 5 60.27 60.24 60.25 60.29 60.35 60.31 60.28 0.0373 6 60.23 60.24 60.25 60.29 60.21 60.27 60.24 0.0260 7 60.31 60.35 60.30 60.25 60.23 60.33 60.29 0.0423 8 60.26 60.22 60.23 60.24 60.24 60.28 60.24 0.0197 9 60.24 60.23 60.23 60.23 60.27 60.29 60.24 0.0233 10 60.21 60.22 60.22 60.25 60.28 60.28 60.24 0.0286 11 60.22 60.22 60.26 60.24 60.21 60.21 60.22 0.0179 12 60.21 60.29 60.26 60.25 60.25 60.35 60.26 0.0433 13 60.22 60.25 60.26 60.27 60.28 60.30 60.26 0.0249 14 60.20 60.20 60.21 60.22 60.26 60.25 60.22 0.0235 15 60.23 60.23 60.25 60.33 60.33 60.33 60.28 0.0471 16 60.24 60.25 60.26 60.29 60.24 60.23 60.25 0.0195 17 60.33 60.26 60.22 60.25 60.26 60.35 60.27 0.0459 18 60.26 60.28 60.22 60.25 60.23 60.23 60.24 0.0206 19 60.28 60.25 60.26 60.26 60.24 60.25 60.25 0.0124 20 60.22 60.29 60.26 60.35 60.23 60.22 60.26 0.0466 21 60.29 60.28 60.24 60.32 60.24 60.29 60.27 0.0286 22 60.28 60.26 60.21 60.30 60.28 60.28 60.26 0.0285 23 60.26 60.27 60.25 60.23 60.28 60.24 60.25 0.0170 24 60.25 60.25 60.27 60.35 60.28 60.25 60.27 0.0354 25 60.23 60.23 60.28 60.32 60.29 60.26 60.26 0.0323 表 5 控制用控制图数据
Table 5 Control chart data for control
组数(k) 测量值(Hz) 每组期间核查
值(¯xk)(Hz)标准偏
差(sk)(Hz)1 2 3 4 5 6 26 60.29 60.28 60.3 60.26 60.26 60.27 60.28 0.0149 27 60.28 60.26 60.24 60.29 60.25 60.29 60.27 0.0195 -
[1] Zhang H, Wang S J, Zhai G F. Research on Particle Impact Noise Detection Standards[J]. IEEE Transactions on Aerospace and Electronic Systems, 2008, 44(2): 808-814. DOI: 10.1109/TAES.2008.4560223
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