Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer
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摘要: 介绍了利用激光干涉仪直线度镜组和角度镜组检测直线度的测量原理、检测方法及注意事项,并着重对两种检测方法进行对比分析,依托检测数据分析两种检测方法的精度、优势及应用环境的区别。Abstract: This paper introduces the measurement principle, detection methods, and precautions of using the laser interferometer straightness mirror set and angular mirror set to detect straightness, and focuses on the comparative analysis of the two detection methods. Relying on the detection data, this paper analyzed the differences in the accuracy, advantages, and application environments of the two detection methods.
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Key words:
- laser interferometer /
- straightness mirror set /
- angular mirror set /
- comparison
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表 1 两种镜组指标对比
Table 1. Comparison of two mirror sets
对比项目 激光干涉仪直线度镜组 激光干涉仪角度镜组 检测范围 短行程 0.1 ~ 4 m 0 ~ 15 m 长行程 1 ~ 30 m 精度 短行程 ±0.005A ±0.5 ±0.15 M2μm ±0.002A ±0.5 ±0.1Mμrad 长行程 ±0.025A ±5 ±0.015 M2μm 分辨率 短行程 0.01μm 0.1μm/m 长行程 0.1μm 便捷度 困难 容易 注:A显示读数;M检测长度 -
[1] 严杰文, 司卫征. 大长尺寸光滑精密导轨直线度测量[J]. 河南科技, 2013(4): 93. doi: 10.3969/j.issn.1003-5168.2013.04.081 [2] 宁延平, 刘战锋. 国内外高精度直线度测量技术的研究现状[J]. 现代制造工程, 2005(6): 82-84. doi: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.06.035 [3] 黄天喜, 严祯, 曾韬. 几种测量机床导轨直线度误差的方法[J]. 机械工程与自动化, 2008(2): 186-188. doi: 10.3969/j.issn.1672-6413.2008.02.072 [4] 司卫征, 何梦佳, 林建荣. 激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用[J]. 计量与测试技术, 2010, 37(6): 40-41. doi: 10.3969/j.issn.1004-6941.2010.06.023 [5] 贾平平. 激光干涉仪原理与应用研究[J]. 山东工业技术, 2018(20): 9,247. [6] 胡长德, 陆加海, 幸褀, 等. 基于激光干涉的长导轨直线度误差测量[J]. 光学仪器, 2008, 30(6): 10-15. doi: 10.3969/j.issn.1005-5630.2008.06.003 [7] 张福英. 基于激光干涉仪的直线度误差测量[J]. 装备制造技术, 2014(5): 202-203,217. doi: 10.3969/j.issn.1672-545X.2014.05.075 [8] 路雄, 赵远方, 王文涛, 等. 激光干涉水准标尺检定系统测量误差分析[J]. 计量科学与技术, 2021, 65(7): 38-42. [9] 吴呼玲. 自准直仪测量直线度误差[J]. 内燃机与配件. 2018(4): 70-72. [10] 王云龙, 李逸群, 孙谊. 基于激光准直仪的导轨几何误差测量[J]. 现代制造技术与装备, 2017(7): 138-139. doi: 10.3969/j.issn.1673-5587.2017.07.072 [11] 胡仲勋, 王伏林. 给定平面内直线度误差评定及其可视化研究[J]. 湖南大学学报(自然科学版), 2007(3): 29-32. [12] 曹永洁, 万军, 傅建中, 等. 激光干涉仪在机床定位精度测量中的误差分析[J]. 机床与液压, 2007(4): 163-164,183. doi: 10.3969/j.issn.1001-3881.2007.04.055