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激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究

赵红 严昊明 刘莹

赵红,严昊明,刘莹. 激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究[J]. 计量科学与技术,2022, 66(3): 54-57, 29 doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
引用本文: 赵红,严昊明,刘莹. 激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究[J]. 计量科学与技术,2022, 66(3): 54-57, 29 doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
ZHAO Hong, YAN Haoming, LIU Ying. Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer[J]. Metrology Science and Technology, 2022, 66(3): 54-57, 29. doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
Citation: ZHAO Hong, YAN Haoming, LIU Ying. Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer[J]. Metrology Science and Technology, 2022, 66(3): 54-57, 29. doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645

激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究

doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
详细信息
    作者简介:

    赵红(1982-),沈阳机床(集团)有限责任公司工程师,研究方向:计量测试技术,邮箱:zhao_hong_123@163.com

Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer

  • 摘要: 介绍了利用激光干涉仪直线度镜组和角度镜组检测直线度的测量原理、检测方法及注意事项,并着重对两种检测方法进行对比分析,依托检测数据分析两种检测方法的精度、优势及应用环境的区别。
  • 图  1  直线度镜组测量原理图

    Figure  1.  Measuring principle diagram of straightness mirror group

    图  2  角度镜组测量原理图

    Figure  2.  Measuring principle diagram of angular mirror set

    图  3  角度镜组直线度检测原理图

    Figure  3.  Schematic diagram of straightness detection of angular mirror set

    图  4  直线度检查仪

    Figure  4.  Straightness tester

    图  5  测量趋势比对

    Figure  5.  Comparison of measurement trends

    表  1  两种镜组指标对比

    Table  1.   Comparison of two mirror sets

    对比项目激光干涉仪直线度镜组激光干涉仪角度镜组
    检测范围短行程0.1 ~ 4 m0 ~ 15 m
    长行程1 ~ 30 m
    精度短行程±0.005A ±0.5 ±0.15 M2μm±0.002A ±0.5 ±0.1Mμrad
    长行程±0.025A ±5 ±0.015 M2μm
    分辨率短行程0.01μm0.1μm/m
    长行程0.1μm
    便捷度困难容易
    注:A显示读数;M检测长度
    下载: 导出CSV
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出版历程
  • 录用日期:  2022-02-20
  • 网络出版日期:  2022-02-23
  • 刊出日期:  2022-03-08

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