Measurement of Thermal Expansion Coefficient of Materials by Laser Absolute Method
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摘要: 随着精密测量与精密加工的要求不断提高,对材料热膨胀系数的测量越来越频繁,在使用商用热膨胀系数测量设备进行计量溯源时,对测量结果进行不确定度评估也愈加重要。设备的最大允许误差、仪器长度测量精度、炉体恒温精度、仪器测温精度、测量结果的重复性等都将直接影响测量结果的不确定度评估。本文依照GUM法评估热膨胀仪测量结果的不确定度,分析了激光绝对法的热膨胀仪误差源,给出了完整的测量模型,并根据模型计算了测量标准石英样品的合成不确定度。用户根据激光绝对法测量热膨胀系数的误差分析,可以评定自用设备测量结果的不确定度。Abstract: As the requirements for precision measurement and precision machining continue to increase, the measurement of the thermal expansion coefficient (CTE) of materials has become more and more popular, and the uncertainty evaluation of the measurement results is becoming more and more important when using commercial CTE measurement equipment for metrological traceability. The maximum permissible error, the accuracy of the length measurement of the instrument, the accuracy of the constant temperature of the furnace, the accuracy of the temperature measurement of the instrument, and the repeatability of the measurement results will all directly affect the uncertainty evaluation of the measurement results. In this paper, the uncertainty of the measurement results of the thermal dilatometer is evaluated according to the GUM method. While analyzing the error source of the thermal dilatometer of the laser absolute method, a complete measurement model is given, and the synthetic uncertainty of measuring standard quartz samples is calculated according to the model. The user can assess the uncertainty of the measurement results of the self-use equipment according to the error analysis of the laser absolute method of measuring the CTE.
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表 1 极差系数表
Table 1. Table of max-min coefficients
n 2 3 4 5 6 7 $ {C}_{n} $ 1.13 1.69 2.06 2.33 2.53 2.70 v 0.9 1.8 2.7 3.6 4.5 5.3 表 2 石英样品测量数据
Table 2. Quartz sample measurement data
温度(K) 样品温度(℃) 膨胀量$ \Delta L $
(1×10−8 m)热膨胀系数CTE
(1×10−8/K)273 0 −17 46 293 20 / / 323 50 36 60 373 100 94 59 423 150 156 59 473 200 219 60 523 250 282 61 573 300 344 61 表 3 重复性实验结果
Table 3. Repeatability test results
样品温度(K) 样品温度(℃) 第一组CTE
(1×10−8/K)第二组CTE
(1×10−8/K)实验标准差$\sigma_1 $
(1×10−8/K)273 0 44 48 4 293 20 / / / 323 50 59 62 3 373 100 58 60 1 423 150 60 59 1 473 200 61 60 1 523 250 61 60 1 573 300 61 60 1 表 4 扩展不确定度
Table 4. Expanded uncertainty
样品温度
(K)样品温度
(℃)热膨胀系数CTE
(1×10−8/K)扩展不确定度U1, k=2
(1×10−8/K )273 0 46 8 293 20 / / 323 50 60 5 373 100 59 3 423 150 59 3 473 200 60 3 523 250 61 3 573 300 61 3 表 5 蓝宝石样品测量数据
Table 5. Measurement data of the sapphire sample
温度(K) 温度(℃) ΔLs(1·10−8m) 热膨胀系数CTE (1·10−8/K) 123 −150 −1343 393 173 −100 −1104 458 223 −50 −724 515 273 0 −231 566 323 50 360 602 373 100 1017 634 423 150 1728 664 473 200 2492 692 523 250 3284 714 573 300 4116 735 623 350 4969 753 673 400 5841 768 723 450 6733 783 753 480 7274 791 表 6 蓝宝石样品重复性实验结果
Table 6. Repeatability test results of the sapphire sample
温度
(K)温度
(℃)第一组CTE
(1·10−8/K)第二组CTE
(1·10−8/K)第三组CTE
(1·10−8/K)实验标准差$\sigma_2 $
(1·10−9/K)123 −150 393 394 393 9 173 −100 458 458 459 4 223 −50 515 516 516 5 273 0 565 565 566 9 323 50 602 603 602 6 373 100 634 635 635 5 423 150 664 664 664 3 473 200 691 692 692 3 523 250 714 714 714 2 573 300 735 735 735 1 623 350 753 752 753 2 673 400 769 768 768 1 723 450 783 783 783 1 753 480 790 791 791 3 表 7 蓝宝石样品扩展不确定度
Table 7. Expanded uncertainty of the sapphire sample
温度(K) 温度(℃) 热膨胀系数CTE
(1·10−8/K)扩展不确定度U2, k=2
(1·10−8/K)123 −150 393 3 173 −100 458 3 223 −50 515 5 273 0 566 6 323 50 602 5 373 100 634 4 423 150 664 4 473 200 692 4 523 250 714 3 573 300 735 3 623 350 753 3 673 400 768 3 723 450 783 3 753 480 791 3 表 8 蓝宝石样品测量结果比对
Table 8. Comparison of sapphire sample measurement results
温度(K) 温度(℃) NIM CTE (1·10−8/K) VNIIM CTE (1·10−8/K) 归一化偏差 |En| 423 150 664 669 0.71 473 200 692 693 0.22 523 250 714 716 0.30 573 300 735 737 0.41 623 350 753 755 0.41 673 400 768 771 0.45 723 450 783 785 0.37 -
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