留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究

赵红 严昊明 刘莹

赵红,严昊明,刘莹. 激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究[J]. 计量科学与技术,2022, 66(3): 54-57, 29 doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
引用本文: 赵红,严昊明,刘莹. 激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究[J]. 计量科学与技术,2022, 66(3): 54-57, 29 doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
ZHAO Hong, YAN Haoming, LIU Ying. Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer[J]. Metrology Science and Technology, 2022, 66(3): 54-57, 29. doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
Citation: ZHAO Hong, YAN Haoming, LIU Ying. Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer[J]. Metrology Science and Technology, 2022, 66(3): 54-57, 29. doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645

激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究

doi: 10.12338/j.issn.2096-9015.2021.0645
详细信息
    作者简介:

    赵红(1982-),沈阳机床(集团)有限责任公司工程师,研究方向:计量测试技术,邮箱:zhao_hong_123@163.com

Comparison Study on Straightness Detection of Two Mirror Sets by Laser Interferometer

  • 摘要: 介绍了利用激光干涉仪直线度镜组和角度镜组检测直线度的测量原理、检测方法及注意事项,并着重对两种检测方法进行对比分析,依托检测数据分析两种检测方法的精度、优势及应用环境的区别。
  • 图  1  直线度镜组测量原理图

    Figure  1.  Measuring principle diagram of straightness mirror group

    图  2  角度镜组测量原理图

    Figure  2.  Measuring principle diagram of angular mirror set

    图  3  角度镜组直线度检测原理图

    Figure  3.  Schematic diagram of straightness detection of angular mirror set

    图  4  直线度检查仪

    Figure  4.  Straightness tester

    图  5  测量趋势比对

    Figure  5.  Comparison of measurement trends

    表  1  两种镜组指标对比

    Table  1.   Comparison of two mirror sets

    对比项目激光干涉仪直线度镜组激光干涉仪角度镜组
    检测范围短行程0.1 ~ 4 m0 ~ 15 m
    长行程1 ~ 30 m
    精度短行程±0.005A ±0.5 ±0.15 M2μm±0.002A ±0.5 ±0.1Mμrad
    长行程±0.025A ±5 ±0.015 M2μm
    分辨率短行程0.01μm0.1μm/m
    长行程0.1μm
    便捷度困难容易
    注:A显示读数;M检测长度
    下载: 导出CSV
  • [1] 严杰文, 司卫征. 大长尺寸光滑精密导轨直线度测量[J]. 河南科技, 2013(4): 93. doi: 10.3969/j.issn.1003-5168.2013.04.081
    [2] 宁延平, 刘战锋. 国内外高精度直线度测量技术的研究现状[J]. 现代制造工程, 2005(6): 82-84. doi: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.06.035
    [3] 黄天喜, 严祯, 曾韬. 几种测量机床导轨直线度误差的方法[J]. 机械工程与自动化, 2008(2): 186-188. doi: 10.3969/j.issn.1672-6413.2008.02.072
    [4] 司卫征, 何梦佳, 林建荣. 激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用[J]. 计量与测试技术, 2010, 37(6): 40-41. doi: 10.3969/j.issn.1004-6941.2010.06.023
    [5] 贾平平. 激光干涉仪原理与应用研究[J]. 山东工业技术, 2018(20): 9,247.
    [6] 胡长德, 陆加海, 幸褀, 等. 基于激光干涉的长导轨直线度误差测量[J]. 光学仪器, 2008, 30(6): 10-15. doi: 10.3969/j.issn.1005-5630.2008.06.003
    [7] 张福英. 基于激光干涉仪的直线度误差测量[J]. 装备制造技术, 2014(5): 202-203,217. doi: 10.3969/j.issn.1672-545X.2014.05.075
    [8] 路雄, 赵远方, 王文涛, 等. 激光干涉水准标尺检定系统测量误差分析[J]. 计量科学与技术, 2021, 65(7): 38-42.
    [9] 吴呼玲. 自准直仪测量直线度误差[J]. 内燃机与配件. 2018(4): 70-72.
    [10] 王云龙, 李逸群, 孙谊. 基于激光准直仪的导轨几何误差测量[J]. 现代制造技术与装备, 2017(7): 138-139. doi: 10.3969/j.issn.1673-5587.2017.07.072
    [11] 胡仲勋, 王伏林. 给定平面内直线度误差评定及其可视化研究[J]. 湖南大学学报(自然科学版), 2007(3): 29-32.
    [12] 曹永洁, 万军, 傅建中, 等. 激光干涉仪在机床定位精度测量中的误差分析[J]. 机床与液压, 2007(4): 163-164,183. doi: 10.3969/j.issn.1001-3881.2007.04.055
  • 加载中
图(5) / 表(1)
计量
  • 文章访问数:  39
  • HTML全文浏览量:  17
  • PDF下载量:  10
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 录用日期:  2022-02-20
  • 网络出版日期:  2022-02-23
  • 刊出日期:  2022-03-08

目录

    /

    返回文章
    返回