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提升光刻机制造质量面临的挑战

发布日期: 2022-01-28 阅读次数：
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光刻机是是制造芯片的核心装备。我国在提升光刻机制造质量上面临着哪些挑战？中国工程院院士、哈尔滨工业大学教授谭久彬带你走近《提升光刻机制造质量面临的挑战》。

监制：市场监管总局计量司

制作：中国计量院战略中心


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